《显示器件用低阻碳化硅单晶材料产业化技术开发》

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显示器件用低阻碳化硅单晶材料产业化技术开发项目,来自于2008年天津市科技支撑计划重大项目专项,是由中国电子科技集团公司第四十六研究所承担的,项目负责人为郝建民。该项目在两年的执行期内投资了1295万元,重点针对如何提高成晶率和降低产品成本,开展低阻碳化硅单晶材料产业化技术的研发,建设出一条仪器设备齐全、配置合理的中试线,达到年产2英寸6H低阻碳化硅单晶抛光片1000片的生产能力,实现小批量生产;贯通并建立可适应规模化生产的成熟的工艺,并形成包括设计图纸、工艺规范、产品标准、检验标准等在内的成套文件。该项目研制的低阻6H-SiC单晶抛光片直径达到2英寸,微管道缺陷密度小于100个每平方厘米,翘曲度小于50微米,总厚度变化小于60微米,表面粗糙度小于1.5纳米,成晶率达到到50%。2010年达到年产1000片能力,年度实现盈利,现年销售500余片,新增销售收入400多万元,实现利税50多万元。该项目研制的低阻碳化硅单晶材料是宽禁带半导体材料,具有禁带宽度大、击穿电场强度高、化学稳定性好等特点,可以制作蓝、绿光、紫外光器件等,国内没有同类其它产品销售。创新点包括:1、突破碳化硅单晶材料制备相关关键技术,实现小批量化生产;2、实现基础材料研究领域重大突破,填补国内在该专业领域的空白;3、为中国宽禁带器件研制提供衬底材料,推进器件研制进程,实现国产化。该项目的实施,实现了年产碳化硅单晶抛光片1000片的生产能力,填补了国内市场的空白。国内的需求量已超过1500片,预计未来几年内还将大幅度增长。该项目可促进天津市逐步成为碳化硅单晶抛光片生产基地,对促进中国显示器件及半导体照明工程的进展具有十分重要的意义,同时还可带动天津光电等相关产业的发展,从而形成天津光电子产业群。

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