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目录1

专用工艺设备1

专用工艺设备1

一、真空设备1

真空获得设备1

真空泵1

机械真空泵1

油封机械真空泵1

机械增压泵2

多室真空泵2

定片式机械真空泵2

滑阀式机械真空泵2

旋片式机械真空泵2

罗茨真空泵3

往复真空泵3

分子真空泵3

无油机械泵3

蒸汽流泵3

扩散泵3

油扩散泵3

水蒸汽喷射泵4

油蒸汽喷射泵4

扩散喷射泵4

喷射泵4

汞扩散泵4

汞蒸汽喷射泵4

物理化学泵5

钛升华泵5

容积吸气剂泵5

电离泵6

吸气离子泵6

蒸发离子泵6

弹道式钛泵6

复合式钛泵7

溅射离子泵7

冷凝泵8

真空计8

全压强真空计8

绝对真空计8

相对真空计8

膜片真空计8

U形真空计8

双金属真空计9

热敏电阻真空计9

放电指示管9

电离真空计9

热传导真空计9

电阻真空计9

热辐射真空计9

压缩式真空计9

热偶真空计9

热阴极电离真空计10

冷阴极电离真空计10

放射性电离真空计10

超高真空计10

分压强真空计11

磁偏转型分压计11

气体分析仪11

冷磁控超高真空计11

热磁控超高真空计11

B-A电离真空计11

回旋质谱仪12

四极质谱仪12

高频火花检漏仪12

差压检漏仪12

无油真空系统13

氦质谱检漏仪13

真空系统13

卤素检漏仪13

氢钯检漏仪13

机械阱14

充气阀14

真空阀14

真空胶管14

冷凝阱14

吸附阱14

维持泵14

预抽泵14

增压泵14

前级泵14

主泵14

半无油真空系统14

针阀15

前级管路15

预抽管路15

储气罐15

密封圈15

真空设备15

二、电子束、离子束、激光加工设备电子束加工设备15

激光加工设备16

离子束加工设备16

真空镀膜设备17

真空镀膜17

真空蒸镀17

真空蒸发17

电阻加热蒸镀设备17

三、真空镀膜设备17

电子束蒸镀设备18

环形电子枪19

e形电子枪19

L形电子枪19

激光加热蒸镀设备20

高频感应加热蒸镀设备20

电弧放电蒸镀设备20

溅射设备21

阴极溅射设备21

辉光放电溅射设备22

直流二极溅射设备22

等离子溅射设备22

高频溅射设备22

非对称交流溅射设备23

偏压溅射设备23

吸气剂溅射设备23

反应溅射设备23

高频辉光放电溅射设备23

高频等离子溅射设备23

离子束镀膜设备24

电子束化学反应镀膜设备24

无掩模电子束镀膜设备25

无油超高真空镀膜设备25

多源连续真空镀膜机25

四、排气设备25

排气设备25

轨道式排气机26

无油超高真空排气台26

双真空排气台26

排气台26

圆排车26

排气机26

五、加热设备27

加热设备27

电热设备27

电阻炉27

半连续式真空电阻炉28

卧式真空电阻炉28

马弗炉28

井式真空电阻炉28

钟罩式真空电阻炉28

真空电阻炉28

底部送料式真空电阻炉28

氢气电阻炉29

井式氢气电阻炉29

钟罩式氢气电阻炉29

底部送料式氢气电阻炉29

卧式氢气电阻炉29

垂溶炉29

电弧炉30

感应炉30

电子束炉30

电子束熔炼炉30

电子束区域熔炼炉30

六、焊接设备31

非电热设备31

焊接设备31

接触焊接设备31

微波加热炉31

等离子炉31

红外线炉31

电阻焊接设备32

点焊机32

贮能点焊机32

滚焊机32

平行缝焊机32

环形缝焊机32

对焊机32

超声焊接机33

芯片焊接机33

超声键合机33

闪焊33

热压焊接机33

压焊33

梁式引线焊接机34

倒装焊接机34

非接触焊接设备34

气焊机34

电弧焊接机34

氩弧焊接机34

等离子氩弧焊接机34

真空电子束焊接机35

电子束焊接机35

等离子电子束焊接机36

大气电子束焊接机36

光束焊接机37

红外线焊接机37

七、光刻、掺杂设备37

坐标刻图机37

自动刻图机37

激光定位分步重复照相机38

掩模版比较仪38

精缩照相机38

光栅定位分步重复照相机38

分步重复照相机38

初缩照相机38

掩模版复印机39

甩胶机39

涂胶设备39

曝光设备39

彩色显象管曝光台40

紫外线投影曝光机40

自动曝光机40

紫外线接触曝光机40

紫外线曝光机40

紫外线接近曝光机40

荫罩双面曝光机41

电子束曝光机41

电子束制版机41

电子束布线机41

电子束投影曝光机41

选择布线机42

显影机42

图形发生器42

X射线曝光机42

显影设备43

腐蚀设备43

等离子去胶机43

离子蚀刻机43

气相外延炉43

臣式外延炉43

立式外延炉44

桶式外延炉44

分子束外延炉44

化学气相淀积设备44

氧化炉45

扩散炉45

掺杂设备45

单管扩散炉46

多管扩散炉46

卧式扩散炉46

离子注入机46

高频离子源47

双等离子体离子源47

电子束掺杂机48

八、材料、零部件制造设备单晶炉（直拉法）48

冷阴极潘宁离子源48

高压晶体生长炉49

电子束单晶炉49

切割机49

刀刃切割机49

外圆切片机49

内圆切片机49

石英晶体切割机49

研磨机50

激光划片机50

划片机50

激光切片机50

超声切割机50

电子束切割机50

变压器C型铁芯切割机50

激光切割机50

抛光机51

化学机械抛光机51

球面铣磨机51

玻璃滴料机51

玻璃拉管机（卧式）51

拉丝机52

自动绕栅机52

绕丝机52

电子束管自动吹泡机52

玻璃压机52

玻璃管切割机52

金属陶瓷管栅极制造机53

切丝机53

切头机53

阴极套管收口机53

炼塑机53

塑料封装机53

电容器芯子卷绕机54

变压器C型铁芯卷绕机54

切纸切箔机54

插针成型机54

编织机54

自动压片机54

自动成型压床54

绕线机54

插孔成型机55

管脚制造机55

自动攻丝铣扁机55

云母片铆装机55

环状消气剂压粉机55

方形消气剂制造机55

真空浸渍设备55

质谱仪56

电子显微镜56

奥格电子能谱仪56

九、分析测试设备56

离子探针56

电子探针56

扫描电子显微镜57

显微镜57

金相显微镜58

干涉显微镜58

中测探针台58

电液式振动台59

振动自动控制仪59

机械式振动台59

振动测试仪59

十、例行试验及其它设备59

振动试验台59

环境试验设备59

例行试验设备59

电动式振动台59

低温试验箱60

金刚石模电火花钻孔机60

老化台60

低气压试验箱60

潮湿箱60

高温试验箱60

运输试验台60

摇摆试验台60

离心加速度试验机60

冲击试验台60

去离子水装置61

振动清洗机61

自动清洗机61

芯片分选机61

金刚石模磨平面机61

金刚石模电火花扩孔机61

分片机61

空气过滤器62

高效过滤器62

低效（粗）过滤器62

中效过滤器62

室内尘源62

室外大气尘浓度62

室外大气尘（室外空气尘）62

净化技术62

过滤效率63

计重效率63

比色效率63

计数效率63

过滤器的穿透率63

洁净间63

洁净间标准63

常规型（紊流型）洁净间63

垂直层流型洁净间64

装配式洁净间64

水平层流型洁净间64

洁净工作台65

气闸室65

空气吹淋室65

物料吹淋室65

洁净间内空气的正压66

正压的控制66

传递窗66

粘着垫66

静电自净器66

移动式层流空气净化装置67

防尘服67

移动式真空吸尘机67

集中式真空吸尘系统67

洁净间的监测68

滤膜法测尘68

光电尘粒计数器68

气体净化68

催化脱氧69

吸附干燥69

露点69

纯水69