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第一章 量测系统的特性1

1.1 量测系统1

1.2 量测仪表的校准与分度1

1.3 量测仪表误差的来源2

1.4 动的量测系统的特性3

1.5 系统反应3

1.6 周期与阻尼5

1.7 灵敏度准确度和精密度8

1.8 量测系统磁带现象9

1.9 电子的方法和机械的量测10

1.10 电子量测系统的要素10

1.11 电子控制11

1.12 电气的仪表配置应用上的注意事项12

1.13 量测的基本标准14

2.3 光的干涉19

2.2 单色光19

2.1 白光19

第二章 干涉学19

2.4 平坦度的检验21

2.5 外形的检验23

2.6 光的干涉25

2.7 平坦度的干涉仪25

2.8 N.P.L.型长度的量测29

2.9 绝对长度的量测30

第三章 表面光制的评估36

3.1 表面纹理37

3.2 用於表面光制的参数37

3.3 Ra值的公差42

3.4 仪器与使用技巧47

3.5 量测行程长和试样长50

3.6 机碱的粗度仪器53

3.7 干涉光的显微镜56

3.8 表面复制品57

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