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目录1

概述1

一、仪器主体结构1

二、测量系统2

(一)纵向干涉系统3

(二)横向干涉系统3

(三)空气折射率干涉仪5

(四)小角度干涉仪和校正系统7

三、数值显示与打印13

(一)激光干涉条纹的32细分13

(二)计数脉冲当量的变换19

(三)计数单元23

四、测量结果的修正26

五、瞄准定位装置26

六、仪器的精度29

(一)单轴精度29

(二)座标精度32

(三)座标样板测试33

(四)一等量块比对结果及精度分析36

附表:本仪器各部分误差组成表37

附录一、“激光两座标测量仪”鉴定会纪要39

附录二、“激光两座标测量仪”预审会纪要40

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