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集成传感器文集1

第二分册1

译文专辑1

1、集成压力传感器1

2、MOS集成压力传感器6

3、CMOS集成硅压力传感器14

4、多晶硅压力传感器23

5、多晶硅的压阻特性28

6、集成多用传感器芯片34

7、高温超小型固态压力传感器的进展40

8、硅压阻传感器的温度灵敏度54

9、可在300℃下使用的微型压力传感器75

10、横向标准压力传感器采用各向异性刻蚀法的主要优点82

11、采用阳极氧化自停腐蚀法制作压敏传感器的硅膜片89

12、集成灵敏传感器的固态封接和组装技术94

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