《DRY ETCHING FOR VLSI》

作者 A.J.VAN ROOSMALEN J.A.G.BAGGE 编者
出版 PLENUM PRESS
参考页数 237
出版时间 1991（求助前请核对）
ISBN号 0306438356 — 求助条款
PDF编号 813251488（仅供预览，未存储实际文件）
求助格式 扫描PDF（若分多册发行，每次仅能受理1册）
DRY ETCHING FOR VLSI 1991 PDF电子版封面 0306438356 A.J.VAN ROOSMALEN J.A.G.BAGGE

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