《小尺寸测量》

第一章小尺寸测量与公差概况1

一 小尺寸概念1

二 小尺寸零件的种类2

三 小尺寸测量的特点21

四 小尺寸的公差与配合23

第二章细丝直径测量48

一 概述48

二 斜照明干涉法49

三 激光衍射法53

四 激光散射法73

五 放大测量法82

六 扫描测量法85

第三章小孔直径测量106

一 概述106

二 小孔直径的接触测量108

三 小孔直径的非接触测量140

第四章薄膜厚度测量157

一 概述157

二 形状膜厚的测量166

三 质量膜厚的测量181

四 物质膜厚的测量194

第五章镀层与涂层厚度测量215

一 概述215

二 镀层厚度的测量216

三 涂层厚度的测量252

四 涡流测量法及其在测厚中的应用265

第六章小宽度测量277

一 概述277

二 薄带宽度的测量280

三 狭缝宽度的测量283

四 刻线宽度的测量300

第七章小位移测量328

一 概述328

二 小位移机械法测量329

三 小位移光学法测量329

四 小位移电学法测量344

五 小位移气动法测量349

第八章小尺寸测量技术的发展357

一 概述357

二 电视、电子显微镜358

三 超声波显微术381

四 CCD测量385

五 全息干涉测量与全息显微术398

第九章小尺寸量仪的检定405

一 概述405

二 示值误差的检定407

三 灵敏度与线性误差的估计423

四 示值稳定度的检定425