《表1 SiCl4和D4主要参数对比》
D4与SiCl4相比具有更高的含硅量,其含硅量大约是SiCl4的2~3倍,这意味着同样的产量将需要更少的原料。沸点也是选择原材料的重要指标之一,因为沸点过高将会导致在气化过程中需要更多的能耗,而且在沉积时的稳定性也很难保证[5],从表1中可以看出,D4的沸点在175℃左右,在工业中实现起来也比较容易。Dobbins等人曾研究过D4和SiCl4的沉积效率,D4的沉积效率比SiCl4至少高出10%以上[6]。另外,原料没有强腐蚀性可以大大地降低对设备的要求,从而降低了设备的投入成本。综上所述,D4将成为制备光棒原料的首要选择。
图表编号 | XD0088475300 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2019.10.10 |
作者 | 王建江、郝昌平、宋君、江雅芬、陈伟、严勇虎、朱永刚、张功会、李亚东 |
绘制单位 | 苏州大学材料与化学化工学部、江苏亨通光纤科技有限公司、江苏亨通光纤科技有限公司、江苏亨通光纤科技有限公司、江苏亨通光纤科技有限公司、江苏亨通光纤科技有限公司、江苏亨通光纤科技有限公司、江苏亨通光纤科技有限公司、江苏亨通光纤科技有限公司、苏州大学材料与化学化工学部 |
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