《表1 各个倾斜误差角的值》

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《采用五棱镜扫描法检测大口径平面镜的面形》


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从式(15)可以看出,通过计算表面倾斜角的差值,使V中的所有一阶误差项全部消除,只剩下很小的二阶误差项。表1列出了一些倾斜误差角的值,这些值来源于2.4节和3节,其中变化量Δαpp,Δγpp和Δαst的值使用rms误差,而其它倾斜误差角的值使用极限误差。在本文中,极限误差等于相应的rms误差的3倍。对于表1,需要注意两点:第一,αac、βac和γac中不含有初始调整误差,因为在初始调整过程中,自准直仪1是基准;第二,γpp和γac中不含有旋转臂的倾斜误差,因为旋转臂的γ倾斜角误差实际上是转台的转角误差,这将在后面的4.3节中进行分析。