《表4 计算光束倾斜带来的测量点位置误差》

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《采用五棱镜扫描法检测大口径平面镜的面形》

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在式（10）和式（11）中，除了αst和βst以外的一阶项αpp、γpp、βac、γac、V0和H0，均会使射向被测平面镜的光束产生倾斜，倾斜角的大小分别等于αpp、γpp、βac、γac、V0和H0本身的大小。这种光束的倾斜会带来测量点的位置误差，如表4所示，最后计算得到相应测量点的位置误差为0.052 mm rms。表4中αpp、γpp、βac和γac的值来源于表1，V0和H0的值通过实验标定。