《表1 等离子体处理对磁控溅射镀膜基黏结性的影响》

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《磁控溅射技术在产业用纺织品涂层中的应用进展》

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磁控溅射镀的膜基黏结性很强，但是随着产业的快速发展，需要进一步提升黏结性。SCHOLZ等通过等离子体预处理改善膜基结合强度，从表1的剥离实验可知，在经过等离子体预处理后，各种涂层材料与基布的黏结强度都有大幅度提高。陈吴健等的研究还发现，等离子体处理不仅能改变纤维的表面形态（物理改变），而且可能改变纤维的化学成分，对织物的导电性能也有所影响。在此基础上，庄明宇提出了新的预处理方案：丙酮加无水乙醇处理液→超声波处理30 min→烘干30 min→等离子处理仪处理7 min；除此之外，等离子体预处理和加热结合、采用无灯丝离子源技术、离子束辅助技术都可以改善膜基结合力。