《表2 纺织材料低压等离子体金属镀膜工艺的最佳参数值范围》

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L、P是决定等离子体能否自我维持的数值。L·P数值大表示等离子体能自我维持，亦表示溅射靶和衬底之间的距离较长和/或真空室内的离子水平较高。两者都会令溅射粒子在溅射靶和衬底之间的距离中与离子碰撞的机会增加，对溅射粒子到达衬底造成阻碍，甚至会导致溅射粒子无法到达衬底，进而降低沉积速率。而L·P数值小则将获得高的沉积速率和更低的随机散射机率。随机溅射是指溅射粒子溅射到衬底以外的其他区域的现象，例如真空室的内壁、真空室内部的其他组件或溅回到溅射靶本身。能自我维持的等离子体对蒸发沉积至关重要，因此，能自我维持的等离子体和较高的沉积速度之间的平衡是一项艰巨的任务。本文通过反复试验，得出了纺织材料低压等离子体金属镀膜工艺的最佳参数值范围，如表2所示。