《表3 CNx/DLC多层膜的Raman光谱分析结果》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《DLC层厚度对CN_x/DLC多层膜结构及摩擦学性能的影响》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

ID/IG represents the intensity ratio of D peak to G peak.

图4为CNx/DLC多层膜的Raman光谱。由图4可见，在波数600～1 800 cm?1范围内由1个宽峰和1个微弱窄峰组成。研究表明[29?31]，Raman光谱中D峰（～1 350 cm?1）对应于环的sp2原子横向振动，G峰（～1 530 cm?1）对应于芳环或链状的sp2原子的伸展模式，而700 cm?1附近的L峰对应于sp2键的平面外振动。采用Gauss函数对CNx/DLC多层膜的Raman光谱峰进行拟合之后，得到了D峰和G峰位置、半峰宽（FWHM）以及D峰和G峰的强度之比（ID/IG），见表3。从表3可以看出，随着DLC层厚度的减少，多层膜的ID/IG先升后降，D峰和G峰向高波数位移，半峰宽先增后减。ID/IG上升表明多层膜中sp3杂化碳的比例上升，与XPS的分析结果相互印证。此外，有研究表明薄膜内的残余压应力将导致G峰向高波数位移称为“蓝移”现象[30]，一般地，应力越大，波数位移越大，图4中Raman图谱的D峰和G峰出现了蓝移，说明薄膜内部存在压应力。D峰半峰宽的减小表明环状sp2C=C键的键长无序和键角无序得到消除以及键有序度的增加[32]。