《表1 微泵重要参数的比较》

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《微泵的分类及其研究的最新进展》

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近年来，随着微加工技术的发展，国内外学者研制了多种驱动方式的微泵，如压电式、静电式、电磁式、气动式、电渗式、表面张力式、磁流体式、热气泡式微泵，其主要参数对比如表1所示.