《表1 形貌特征分类：基于三维形貌仿真的超精密飞切加工表面质量影响因素分析》

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《基于三维形貌仿真的超精密飞切加工表面质量影响因素分析》

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基于建立的仿真模型，本节将分析各主要因素对超精密飞切加工表面形貌的影响。对表面形貌的评价标准包括粗糙度、波纹度和面形3个指标。如表1所示，粗糙度Sq的周期一般取0.01～0.12 mm；波纹度分为PSD1和PSD2，其中PSD1的周期一般取2.5～33mm，PSD2的周期一般取0.12～2.5 mm；面形PV的周期一般取33～400 mm。