《表1 离子溅射泵的控制命令》
离子溅射泵的物理接口为RS232,波特率为2 400~19 200 Bd/s,可通过面板设定,无开始位,8个数据位,无奇偶校验,1个停止位。离子溅射泵的控制命令为ASCII码,对应的16进制的命令见表1。
图表编号 | XD00221079500 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2020.10.20 |
作者 | 谭亚丽、张安莉、郭霞 |
绘制单位 | 西安交通大学城市学院电气与信息工程系、西安交通大学城市学院电气与信息工程系、西安交通大学城市学院电气与信息工程系 |
更多格式 | 高清、无水印(增值服务) |