《表3 各微结构阵列的实际加工尺寸》

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《基于微铣削的微结构尺寸与形状对PMMA表面疏水性的影响》

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通过超景深显微镜的测量，得到了四种微结构阵列的实际加工尺寸如表3所示。需要指出的是，对于椭圆形阵列，表中给出的为短轴方向上的尺寸，长轴方向的尺寸与短轴方向的尺寸呈13/7的比例关系。从表3可以发现，各个变量的实际加工尺寸相对于设计尺寸偏差可控制在±5μm内，因此使用微铣削方式可以获得较高的加工尺寸精度。