《表3 B组与坩埚埚盖接触表面沉积物主要谱峰相对强度》

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《PVT方法下AlN烧结工艺坩埚盖处氧杂质沉积行为研究》

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图5（c）为B组烧结实验后对黄褐色层表面中心取样的XRD分析图，发现图谱也与标准纤锌矿结构的AlN卡片基本吻合，但代表含氧物相的谱峰已经消失，说明该区域氧杂质含量降低。在2θ为38.530°（被相近位置的六方纤锌矿AlN相谱峰覆盖）、44.771°及65.185°等三处出现了新差异谱峰。经过单峰搜寻和标准卡片比对，发现差异谱峰对应的物相为面心立方结构的AlN（PDF.#46-1200，空间点群为Fm-3m），这也与文献[8]的研究结果相吻合，即面心立方AlN是常温下的亚稳定相，却常见于高温退火/烧结工艺后的纤锌矿结构AlN材料中。