《表1 EFP CSTBT器件结构参数》

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《一种具有延伸浮空P基区结构的CSTBT器件特性分析及关键参数优化》

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本文使用Silvaco TCAD软件对CSTBT、FP CSTBT和沟槽型EFP CSTBT器件进行仿真对比。沟槽型EFP CSTBT器件具体结构参数如表1所示（CSTBT、FP CSTBT的参数与EFP CSTBT共用部分参数相同）。