《表1 材料参数表:机刻光栅复合基底对薄膜内应力的影响研究》
材料参数,如表1所示。
图表编号 | XD00163377200 严禁用于非法目的 |
---|---|
绘制时间 | 2020.05.08 |
作者 | 张宝庆、张绍泽、曹聪、高劲松 |
绘制单位 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学系统先进制造技术重点实验室、长春理工大学机电工程学院、长春理工大学机电工程学院、长春理工大学机电工程学院、中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学系统先进制造技术重点实验室 |
更多格式 | 高清、无水印(增值服务) |
材料参数,如表1所示。
图表编号 | XD00163377200 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2020.05.08 |
作者 | 张宝庆、张绍泽、曹聪、高劲松 |
绘制单位 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学系统先进制造技术重点实验室、长春理工大学机电工程学院、长春理工大学机电工程学院、长春理工大学机电工程学院、中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学系统先进制造技术重点实验室 |
更多格式 | 高清、无水印(增值服务) |