《表1 图形变量及参数设计》

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《激光刻蚀法加工平面传感器电极的工艺研究》

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图案设计时，通过对比多种样式、线宽及叉指间距对传感器灵敏度等的影响，设计出适用于气体传感器的ITO平面电极。结合具体的实验条件，设计的平面叉指电极面积为34 mm×28 mm，中间的叉指区域为10 mm×20 mm，外侧有两个6 mm×6 mm的正方形接触区域，用于连接外部电路。其中，中间的叉指区设计了一系列不同参数的叉指电极，以系统性考察不同的间距、线宽、图案的刻蚀工艺效果，具体变量参数设计如表1所示。