《表1 矩形通道Knudsen原模型结构尺寸及温度》

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《矩形微通道Knudsen泵中的气体传输特性研究》


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正如上文所述,由于矩形通道具有最好的性能,因此采用矩形通道为研究对象,具体的几何结构模型由窄、宽通道交替地连接而成,如图1所示。由于通道结构在x方向上具有良好的周期性,为降低计算量,提高模拟效率,截取通道结构的一个基本单元进行模拟分析。模型中左右两侧(图1中绿色虚线)采用周期性边界条件以实现现实物理模型中微通道级联的效果。微通道壁面上的温度是恒定的,窄、宽通道水平表面上的温度是线性变化的,其中窄通道上的为正温度梯度,宽通道上的为负温度梯度。宽通道垂直表面上的温度是均匀的,左右两侧的温度分别对应于高温(Th)和低温(Tc)。通道表面上的温度分布情况如图1所示,窄通道壁面间距为H,宽通道间距D是窄通道的三倍。窄、宽通道壁面(同侧)间距为h且与H相等。基本单元的长度为L,窄通道和宽通道在x方向上的长度Lm相等,且均为基本单元长的一半。结构尺寸及相关温度值如表1所列。