《表1 通道实验参数:宽高比及表面粗糙度对矩形微尺度通道流动特性的影响》
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《宽高比及表面粗糙度对矩形微尺度通道流动特性的影响》
硅通道采用MEMS(micro-electromechanical systems)工艺刻蚀得到,实验件共有22个通道,通道宽度(W)和高度(H)均为0.4mm,长度(L)为90mm,表面粗糙度为13nm,相对表面粗糙度为0.003 25%。实验参数如表1所示。
图表编号 | XD0025630500 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2018.05.01 |
作者 | 高超、朱志冰、李海旺 |
绘制单位 | 北京航空航天大学能源与动力工程学院航空发动机气动热力国家级重点实验室、北京航空航天大学能源与动力工程学院航空发动机气动热力国家级重点实验室、北京航空航天大学能源与动力工程学院航空发动机气动热力国家级重点实验室 |
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