《表2 不同扩散条件下方阻、表面浓度和结深的实验数据》

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《n型太阳电池硼扩散制备正面发射极工艺研究》

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结合模拟结果，为了进一步分析不同的表面掺杂浓度和结深对太阳电池电性能的影响，选取4组不同扩散工艺制备少子寿命样品和n-PERT电池。其中A组（950℃、25 min）和B组（950℃、30 min）具有基本相同的表面浓度，C组（950℃、40 min）和D组（970℃、30 min）具有基本一致的结深。经过不同条件扩散掺杂后数据如表2所示。