《表1 不同甲烷浓度条件下在WC-Co8%片表面制备金刚石涂层沉积参数》

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《加工7075航空铝合金用金刚石涂层刀具的制备及其切削性能》

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用热丝CVD制备金刚石涂层，受基体温度、腔室压强和碳源浓度等因素的影响，金刚石涂层沉积的温度需要控制在一定范围。基底温度为800℃～950℃可生长出高质量的金刚石涂层。在低温下金刚石涂层的生长较慢，而在高温（1000℃左右）下金刚石有向石墨转变的趋势[12，13]，因此，本文的实验温度为850±30oC，压强为5 KPa。具体的实验设计列于表1。