《表1 最小键合强度：MEMS光开关的金丝球焊工艺研究开发及应用》

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《MEMS光开关的金丝球焊工艺研究开发及应用》

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依据标准文件GJB548B-2005中相关要求对引线进行破坏性键合强度拉力测试，详细见方法2011中条款3.1.3的要求进行测试，线径Φ50μm，键合强度>0.076N(7.6gf），具体破坏性键合强度拉力值要求见表1。