《表1 不同重叠率和重频模型参数设定》

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《脉冲CO_2激光高精度烧蚀熔石英玻璃》


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本文利用有限元方法建立三维温度分析模型,针对不同重叠率及重频对材料温度的影响进行分析.模型中,不同重叠率和重频扫描速度的设定如表1.分别模拟计算不同激光脉冲参数结束作用时刻表面径向的温度分布(如图6(a)白线),以及表面不同坐标位置(0,00),(0.2,0,0)及(0.4,0,0)在激光扫描过程温度的演化(如图6(b)).