《表2 双层悬臂梁结构和单层悬臂梁结构模态对比》

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《一种低交叉轴灵敏度微米光栅加速度计设计》

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此外，建立ANSYS有限元模型对单层和双层悬臂梁敏感头结构的机械模态进行分析，一阶和二阶振型及其对应频率如图5和表2所示，其中图5(a）和图5(b）分别为双层悬臂梁结构的一阶模态和二阶模态仿真结果，图5(c）和图5(d）分别为单层悬臂梁结构的一阶模态和二阶模态仿真结果。两种结构中，一阶模态均为工作模态，二阶模态均为干扰模态。从仿真结果可以看出，所设计双层悬臂梁敏感头结构的模态分离比达到33.74，相对于单层悬臂梁敏感头结构提升了13.5倍，显著降低了敏感头受高阶模态扰动的影响。