《表1 药水开缸浓度:硫酸-双氧水体系闪蚀药水在精细线路成型中的应用》

《表1 药水开缸浓度:硫酸-双氧水体系闪蚀药水在精细线路成型中的应用》   提示:宽带有限、当前游客访问压缩模式
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《硫酸-双氧水体系闪蚀药水在精细线路成型中的应用》


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开缸药水浓度如表1,分为三种。实验是在2000升槽液真空蚀刻喷淋线上进行,使用的测试板底铜厚度为2.0~3.5μm之间,蚀刻后线宽/线距为35μm/35μm(见表1)。