《表1 几类蓝宝石材料超精密抛光方法的比较》

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《用于蓝宝石材料加工的新型超精密抛光技术及复合抛光技术研究进展》


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几类蓝宝石材料超精密抛光方法的比较如表1所示,这对蓝宝石材料高效高质量新型抛光技术的研发具有指导意义。