《表1 Ti和DLC薄膜沉积参数》

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《加热温度对模具用316L不锈钢镍磷表面Ti-DLC双层膜摩擦学性能的影响》

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试验使用的基体材料为316L不锈钢，加工成尺寸为φ20 mm×10 mm试样。对试样上部端面进行抛光，并利用化学镀镍磷方法涂覆一层200μm厚的Ni-P层。将试样放在Nanonform250五轴精密机床上并采用单点金刚石对其Ni-P层实施车削至厚度达到200μm为止，使表面粗糙度Ra处于10 nm以内，形成光学镜面。对Ni-P层进行超精密车削处理后，利用单腔体镀膜系统（BFSI0805）进行阴极真空电弧沉积使其表面依次得到0.4μm厚的Ti层以及1.2μm厚的DLC层，Ti层靶材由纯度等于99.99%的Ti靶组成，同时通入氩气与CH4，由CH4为DLC膜提供所需的碳源。表1为Ti与DLC层的实际沉积参数。