《表1 图1中MoS2/Mo-S-C薄膜内富MoS2层和Mo-S-C化合物层的厚度[37]》

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《自组织分层金属掺杂类金刚石薄膜的研究进展》

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据报道，目前为止，仅发现有部分金属元素或金属化合物（MoS2[37]、WS2[42]）单一或双元掺杂DLC薄膜时，一定条件下才能形成SOM结构。这些金属元素主要以过渡金属为主，含少量的活性金属，包括Al[35，43-44]、Cu[45-48]、Fe[49]、W[50-51]、Ti[50，52-54]、Cr[53]、Ni[47，49，55-56]、Mo[57]、Pt[47，49，58-59]、Ag[45-46]、Au[47]、Nb[50]等。活波金属一般较难形成SOM结构。Biró等[43]在350℃溅射共沉积了Al-C薄膜，结果发现，当C含量达到15%，薄膜厚度为0.5μm厚时，膜内生成了周期交替的Al4C3微晶复合层和金属Al层。Al4C3层具有非晶/纳米晶结构，Al层为多晶碎片状，层结构呈波纹状，厚度不均一，与室温下制备的薄膜相比，层状结构较规则，但SOM结构仍不够清晰。一些过渡金属元素则较易形成SOM结构。Abrasonis等[56]在常温下制备了不同掺杂含量（16%～53%）的Ni-DLC薄膜，当Ni掺杂含量为53%时，薄膜中生成了层次分明的SOM结构。除此之外，对于能够形成SOM结构的某些金属元素，其硫化物也能获得SOM结构。Noshiro等[42，60]在常温下将WS2和石墨靶材共溅射，获得了具有显著SOM结构的薄膜，薄膜结构较平坦，且层间间隙清晰，同时研究还发现该薄膜具有较低的硬度和摩擦系数。Xu等[37]通过MoS2和石墨靶材共溅射，得到了周期交替、富MoS2层和Mo-S-C化合物层[61]的SOM结构，见图1、表1。由图1和表1可以看出，沿膜基界面至膜表面，富MoS2层厚由4 nm逐渐增至9 nm，Mo-S-C化合物层厚由2 nm逐渐增至4 nm。膜基界面至膜表面层状结构越来越不明显，富Mo-S层周期层数为7左右时，已无明显层状结构。