《表4 在300°C下烘烤不同时间的基体经250°C×48 h储存后的气体含量》
(%)
理论上,在一定范围内烘烤温度的升高和时间的延长都有利于氢逸散,但实际生产中还需要考虑诸多问题,如温度升高带来设备要求和成本的提升,造成加速老化失效,从而引起可靠性问题,以及时间延长造成的生产效率下降和生产周期控制改变,等等。所以,应尽可能在较低温度下使用较短的时间来满足要求。从表4可以看出,在300°C下缩短烘烤时间,基体经高温存储后的氢含量明显上升,烘烤32 h时,基体中的氢含量依旧在0.1%左右。为了使最终的氢含量小于0.1%和消除基体氢含量带来的隐患,综合烘烤温度和时间影响,认为可伐4J29除氢的较优条件是300°C×48 h。
图表编号 | XD00100461200 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2019.09.15 |
作者 | 刘思栋、申忠科、敖冬飞、樊正亮 |
绘制单位 | 南京电子器件研究所、南京电子器件研究所、南京电子器件研究所、南京电子器件研究所 |
更多格式 | 高清、无水印(增值服务) |