《表1 化学镀铜溶液的组成》

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《表面活性剂PEG6000对二元络合体系化学沉积铜的影响》

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使用CHI660E电化学分析仪，采用传统三电极体系测试不含PEG和含PEG表面活性剂对比的镀液混合电位和线性扫描曲线。Ag/AgCl为参比电极，Pt为辅助电极，工作电极为环氧树脂冷镶嵌的纯Cu圆电极（面积为1 cm2）。测试前依次用800#、1200#和2000#金相砂纸抛磨，再用氧化铝抛光膏抛光至镜面。线性扫描测试伏安阴极还原曲线时，溶液中不含还原剂甲醛。阳极氧化测试时，溶液中不含硫酸铜。扫描电势范围均从-0.20 V到-0.60 V，扫描速率均为2 m V/s。混合电位的测试溶液按表1中给出的条件进行，时间为400 s，扫描速度为0.1 s记录一次数据，其开路电位（OCP）即体系的混合电位。