《表3 薄膜各性能测试数据表》

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《不同比例钛掺杂对类金刚石薄膜性能的影响》

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通过上述对薄膜性能的一系列表征，得出了薄膜详细的性能数据，结合图表及实验数据中可以得到，当时，掺杂金属主要以非晶的纳米团簇形式镶嵌于无定形碳网络间隙中，薄膜结合强度显著提高，应力明显下降；随着掺杂含量的不断增加，薄膜中逐渐出现TiC硬质颗粒相，薄膜的结合强度继续提高，当掺杂含量达到8.5%时薄膜的内应力仅为2.1 GPa，不及未掺杂时薄膜内应力的一半。继续增加钛掺杂含量直至达到时，薄膜的特征由DLC薄膜向TiC薄膜转变，薄膜仍具有较高的结合强度以及较小的内应力，但表面光洁度较第一组并无改善。