《表3 石墨套筒不同外径时的电压》

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《单晶炉双驱感应加热数值模拟研究》


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在研究石墨套筒外径的大小对加热过程的影响时,采用ELTA模拟软件对其进行分析研究.如表3所示,当外径分别为70 mm与200 mm,其他感应加热参数采用以上模拟的结果时,通过计算正确的安匝数,得到下线圈的电压分别为211,1 900 V,很显然外径为200 mm时,电压的数值不符合实验设备的要求,造成一定的安全隐患.为了保证实验能够顺利进行,必须经过大量模拟计算,来匹配最合适的工艺参数.通过数据分析,最后选择外径为70 mm的石墨套筒.