《表3 316L不锈钢镀膜前后性能对比》

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《工作压强对PECVD法制备DLC薄膜微观结构与力学性能的影响》


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图4(a)为不同工作压强下不锈钢基体DLC薄膜随压入深度变化的加载-卸载曲线,塑性定义为加载-卸载曲线中塑性位移与整个位移的比值[16],在压入深度相同的前提下可比较其塑性位移来对比塑性。从图4(a)可以看出,基体的塑性位移最大,2 Pa时的DLC薄膜的塑性位移要大于其他压强,因此压强为2 Pa的薄膜塑性较好,但仍不如基体材料,具体数值见表3。通过加载-卸载曲线可进一步得到不同工作压强下不锈钢基体DLC薄膜随压入深度纳米硬度和弹性模量的变化曲线,见图4(b),(c) 。采用连续刚度测量方法(CSM),取薄膜厚度10%以内的比较平缓的区域进行测量,即取200~300 nm处平均值为纳米硬度及弹性模量,见表3。DLC薄膜的纳米硬度曲线远高于不锈钢基体曲线,薄膜的纳米硬度高出基体3倍以上;薄膜的弹性模量曲线以及加载-卸载曲线都低于不锈钢基体相关曲线,说明在弹性模量方面,DLC薄膜要低于不锈钢基体。