《表1 水听器结构4个硅薄膜上最大位移和输出电压》

《表1 水听器结构4个硅薄膜上最大位移和输出电压》   提示:宽带有限、当前游客访问压缩模式
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《一种压电式MEMS矢量水听器设计》


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沿垂直长方体梁结构侧面施加10Pa的载荷,进行静力分析,通过提取路径,得到4个硅薄膜上的最大位移,进而计算得到输出电压,如表1所示.