《表2 BBD响应面法因素与水平设计》

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《塑封微芯片翘曲优化分析》


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根据该芯片流水线车间其他阶段工艺条件及供应商提供的材料最佳性能的参数范围,确定塑封参数及水平上下限如表2所示。