《表1 多自由度误差测量仪器性能对比》

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《导轨五自由度运动误差的光学与倾角传感器组合测量方法》

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通过上述对比实验可以看出，直线进给系统的五自由度测量当前需要激光干涉仪、准直仪、水平仪等多种测量仪器的综合使用，测量时间长。雷尼绍公司的多光束激光干涉仪XM-60通过四光束干涉测量和光学偏摆测量可实现任意方向6个自由度的同时测量，结构紧凑，其主要参数与本文测量系统对比如表1所示。