《表2 不同碳、氮基化合物的相容性》

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《物理气相沉积多元、多层金属陶瓷涂层的研究现状》

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不同材料的化学相容性（互溶能力）对多层膜的制备及性能影响较大（见表2），若构成多层膜的各种材料互溶能力较好，则其界面处易形成过渡结构固溶体，界面模糊，层间结合力好。此外，涂层与基体的晶体结构、弹性模量和热膨胀系数差异越小越好。选用与硬质合金刀具及涂层具有类似晶格结构且具有较大键合强度的金属氮化物作为缓冲层，该缓冲层与基体及涂层均有良好的互溶性和相近的热膨胀系数，能有效改善薄膜与基底材料的适应性，缓解热膨胀系数和结构不匹配，增强界面元素扩散，提高膜/基结合力。此外，对于能够形成共格外延生长结构的多层膜，涂层的结合力进一步提高[25]。