《表2 机械转角系统技术参数》

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机械转角系统主要用来为被测件提供承载基础并实现光照角度调整,该转角系统主要由精密电控转台、样品支撑结构和步进电机控制器共同组成,如图3所示。机械转角系统的技术参数如表2所示。