《表1 不锈钢和SF6的主要参数》

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《不同气压对SF_6热分解反应的作用机制研究》


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SF6分解气室气压设置为0.2~0.5 MPa,假设环境温度为恒定值。热源温度设置为400℃恒温。不锈钢和SF6的主要参数见表1。