《表1 Si Cf/Si C陶瓷基复合材料属性》

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《SiC_f/SiC陶瓷基复合材料超声振动辅助切削试验研究》

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图2是试验使用的三种刀具，包括：准6 mm的PCD铣刀，准6 mm的颗粒粒度50目的钎焊金刚石磨头（基体：45钢，结合剂：镍），准6 mm的颗粒粒度50目的电镀金刚石磨头（基体：45钢，结合剂：镍）。采用低压化学气相沉积工艺制备2.5D-Si Cf/Si C陶瓷基复合材料，试样尺寸为73 mm×48 mm×3.7 mm，材料属性见表1，材料样件见图3。