《表1△E与肉眼感觉之间的对应关系[7-8]》
如图4所示,整体上三种沉积条件下的颜色差异不大,L*值为87.18~87.77,a*值为6.95~7.23,b*值为35.49~35.75。TiN的反应沉积时间分别为100min和60min时,样品之间的△E为0.67,TiN的反应沉积时间分别为140min和60min时,对应样品之间的△E为0.47,如表1所示,肉眼感觉颜色无明显差异,说明中间层TiN层的厚度对颜色没有明显的影响。
图表编号 | XD00161154200 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2020.06.30 |
作者 | 孔晶、陈正件、袁菊懋、刘凌雯、余明远、廖雅、张嘉恒 |
绘制单位 | 珠海中科先进技术研究院有限公司、珠海中科先进技术研究院有限公司、珠海中科先进技术研究院有限公司、珠海中科先进技术研究院有限公司、珠海中科先进技术研究院有限公司、珠海中科先进技术研究院有限公司、哈尔滨工业大学(深圳)材料科学与工程学院 |
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