《表3 芯片背面顶针印迹控制标准》

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《化合物半导体特性及封装工艺控制》


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(4)多数Ga As芯片技术都是平坦的表面芯片;但是,特定的应用需要空气桥金属技术(图8)。空气桥容易被压伤。通常封装厂针对此类芯片粘片时,在芯片拾取和芯片安放等操作的时候,需要配备专用治具,不允许触碰芯片表面;如图(图9)为特殊设计的专用吸嘴图。