《表1 漏率与泄漏程度对应表》

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《氦质谱检漏技术在火电机组真空系统中的应用》

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氦质谱检漏仪先将采集到的气体在质谱室中电离，根据不同荷质比的离子具有不同的电磁特性将示踪气体氦分离检测，氦气在质谱室中电离，并产生与离子数成比例的电流信号，该信号经放大和计算后以漏率的形式反馈给试验人员[2]。为了方便试验人员分析和比较，将氦质谱检漏仪所测漏率的量级与真空系统的泄漏程度一一对应（见表1）。