《表3 回收率及精密度：ICP-MS测定电子级过氧化氢中的元素含量》

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《ICP-MS测定电子级过氧化氢中的元素含量》

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在超高纯过氧化氢中加入混合标准溶液，配制成0.5 ng/mL元素浓度的溶液，在当前仪器条件下进行检测，重复检测3次，回收率为89.9%～112.1%，其结果符合仪器检测回收率80%～120%，并且标准溶液在当前仪器条件下连续检测11次，RSD为0.2%～4.9%，结果如表3所示。