《表1 小森林球标准器修正球心距误差所得数据》

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《工业电子计算机断层扫描(CT)术中长度测量误差修正方法》


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误差修正试验所需的实验室的洁净度需达到10000级,温度在20℃左右,湿度在50%RH左右。微纳坐标测量机的测量误差需低于(0.25+L 666)μm,测量范围在130mm×130mm×100mm内,其修正过的球棒标准器尺寸不确定度属亚微米级,较之工业CT,其测量误差小了至少一个数量级,可满足修正工业CT的需要。用小森林球标准器修正球心距误差所得数据如表1所示,其中最大球心距为19.8126mm,最小球心距为3.8805mm,可适用于修正工业电子计算机断层扫描(CT)术中的长度测量误差。