《高端硅基材料8英寸外延生产线研制及产业化》

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技术领域:该项目为开发集成电路制造业所需的高端硅基材料技术,对于摆脱中国高端集成电路制造所需的大尺寸硅材料依赖进口的状况,实现中国超大规模集成电路产业的腾飞、确保国防安全和经济安全具有至关重要的意义。集成电路材料产业是整个超大规模集成电路产业的重要基础,中国集成电路产业发展迅速,但材料产业发展严重不足阻碍了集成电路产业规模的进一步扩大和成本的降低,制约整个产业发展和技术水平的提高。大尺寸高端硅基材料的开发和国产化,将大大降低国内IC企业的原材料成本,强有力的弥补硅材料这一产业链薄弱环节。创新内容、特点:1、技术创新:突破8英寸抛光片外延和BiCMOS埋层外延的关键工艺技术,包括:大尺寸硅薄膜抛光均匀性问题、无缺陷键合工艺研究、研究解决外延片厚度均匀性问题、解决外延片电阻率均匀性问题、解决外延片图形漂移和图形畸变问题、降低金属离子的影响,提高少子寿命,改善表面颗粒状况等。形成抛光外延和BiCMOS埋层外延规模化、产业化生产工艺流程:建立8英寸抛光外延和BiCMOS埋层外延质量监控流程,满足国内外客户要求,达到国际水平。成功开发满足客户需求的8英寸外延片产品(包括抛光片外延,BiCMOS埋层外延和特种外延,通过大生产线考核与用户认证,具备产业化能力及市场竞争力。2、设备改良:优化8英寸外延炉产品生产配方,提高产能;改进8英寸掺杂气体输送系统,在生产不同阻值外延产品时快速切换不同浓度掺杂气体,增加外延炉可生产产品多样性。8英寸硅外延片的研发突破是上海硅材料产业跟上集成电路产业发展步伐的关键;同时也为开展12英寸硅材料产品的研究奠定了扎实的基础。8英寸硅外延片的产业化打破了被少数跨国公司垄断的局面,极大地推动了上海半导体材料产业做大做强,成为上海发展战略性新兴产业的一项战略基础任务。应用及推广情况:研发特种外延技术,开发SOI外延、厚膜外延、双层外延及工GBT等高附加值的外延晶片系列产品,适应国家半导体行业技术发展的特种需求。随着半导体市场的发展和外延技术的不断提高,新傲公司成功开发了8英寸外延,包括埋层外延,抛光外延以及特种外延,是首批填补国内空白的外延厂商之一,目前的产业化规模也已经位列亚太地区前列。2012年8英寸外延片生产规模达到18万片/年,在主流集成电路制造企业稳定供货,签订长期合同。8英寸外延的应用主要集中在数模混合集成电路、LCD驱动和电源管理、CMOS影像传感器和功率器件等领域,目前主要客户为美国、韩国、日本等地,如AOS,MapleMagnaChip,Toshiba,以及国内的华润上华和中航微电子等,另外还有多家国内外的客户正处于产品认证期。目前虽然受到半导体市场波动的影响,但8英寸抛光片外延产量一直在稳步上升中,市场前景看好。至2012年年底已达到2万片/月以上。各类外延片产品销售额达到人民币1.8亿元,税前净利润约人民币2500万元。

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